mems陀螺仪
mems陀螺仪即硅微机电陀螺仪，绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。
MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。
MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理，将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号，其核心部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、LIGA技术、封装技术等批量生产的，它主要特点是
1. 体积小、重量轻，其边长都小于 1mm，器件核心的重量仅为1.2mg。
2. 成本低。
3. 可靠性好，工作寿命超过 10 万小时，能承受1000g 的冲击。
MEMS 陀螺仪(gyroscope)的设计和工作原理可能各种各样,但是公开的 MEMS 陀螺仪均 采用振动物体传感角速度的概念. 利用振动来诱导和探测科里奥利力而设计的 MEMS 陀螺仪 没有旋转部件, 不需要轴承, 已被证明可以用微机械加工技术大批量生产.
绝大多数 MEMS 陀螺仪依赖于由相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力. 振动物体被柔软的弹性结构 悬挂在基底之上. 整体动力学系统是二维弹性阻尼系统, 在这个系统中振动和转动诱导的科 里奥利力把正比于角速度的能量转移到传感模式.
通过改进设计和静电调试使得驱动和传感的共振频率一致, 以实现最大可能的能量转移, 从 而获得最大灵敏度.大多数 MEMS 陀螺仪驱动和传感模式完全匹配或接近匹配,它对系统的 振动参数变化极其敏感, 而这些系统参数会改变振动的固有频率, 因此需要一个好的控制架 构来做修正.如果需要高的品质因子(Q) ,驱动和感应的频宽必须很窄.增加 1%的频宽可 能降低 20%的信号输出.还有阻尼大小也会影响信号输出.
一般的 MEMS 陀螺仪由梳子结构的驱动部分和电容板形状的传感部分组成. 有的设计还带有去驱动和传感耦合的结构.
1. 首先要认清陀螺仪上面的标识
代表为角速率陀螺仪的输入轴（按右手规则）朝上，角速度为逆时针方向。
代表为角速率陀螺仪的输入轴（按右手规则）朝下，角速度为顺时针方向。
2. 陀螺仪的安装基准面是两边的安装法兰盘。
3. 安装陀螺仪时必须将的输入轴与被测角速度的方向同轴或平行。
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