▎7日从韩媒获悉,4月6日上午,SK海力士利川M16工厂有3名工人在检查设备 的过程中因毒性物质氟酸泄露受伤。据悉,M16工厂DRAM生产工厂...
根据SK海力士和消防当局6日的说法,当日上午11时34分许,3名工作人员在京畿道利川市SK hynix的 M16工厂5楼的设备进行检查期间,发生氢氟酸泄漏事故,3名员工因毒性物质氟酸泄露受伤,其中1名员工胳膊和腿部被烧伤,另2名员工则不慎吸入氟酸气体被立即送往医院,3人均无生命危险。
公开资料显示,氢氟酸(Hydrofluoric Acid)是氟化氢气体的水溶液,清澈,无色、发烟的腐蚀性液体,有剧烈刺激性气味。氢氟酸是一种弱酸,具有极强的腐蚀性,能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体。如吸入蒸气或接触皮肤会造成难以治愈的灼伤。
SK hynix表示:“此次事故是在检查M16新工厂的机器的过程中发生的,对半导体生产没有影响。”值得庆幸的是, 3名受伤的工人在被送医急救之后已无大碍。
据悉,本次发生氢氟酸外泄事件的M16工厂是 SK hynix 新建成的一座工厂,据官网资料显示,M16工厂在2018年的11月动工,总投资金额达3.5万亿韩元,历时2年建成,到今年2月1日才举行了完工典礼。M16工厂还引进了极紫外光曝光机 (EUV) 进入产线,将主要用于生产 DRAM 产品。
目前M16工厂正在进行最后一批生产设备的装机与测试工作,为202年下半年的正式量产做准备。 韩媒猜测, 此次化学品外泄事件发生是意外事件。至于真正的化学品泄漏原因,SK hynix表示将积极协助当地消防局做进一步调查。
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