随着汽车智能化浪潮,汽车传感器产业飞速发展, 与此同时,国六法规的出台意味着更加严格的排放标准将落实在技术上,包括乘用车上的油箱压力传感器、GPF压差传感器都要100%安装,碳罐脱附压力传感器安装率50%以上,更有EGR尾气再循环系统的需求;而商用车也要求DPF压差传感器100%安装,代表着对压差传感器提出了更严格的规范要求。
纳芯微NSP183x系列是一款基于高灵敏度的单晶硅压阻效应,并采用先进的MEMS微加工工艺制造而成符合AEC-Q103可靠性标准的汽车级MEMS压差传感器,生命周期内精度和稳定性优于1%FS;其制造平台经过IAFTF16949认证,每片晶圆都通过100% AOI检测,并提供用于封装的Map。还有采用贵金属双焊盘结构设计和稳定性增强的屏蔽层技术的NSP1832,符合汽车级Grade 0标准,特别适合于汽车尾气处理、燃油蒸汽压力测量等恶劣环境。
NSP183x系列MEMS晶圆芯体主要特性
综合精度高
灵敏度高、非线性小,温度和压力迟滞小,生命周期内精度和稳定性优于±1%F.S.。
车规级标准
经过AEC-Q103认证,支持高达12V的高压供电,可承受3x过载压力和5x爆破压力,具有很高的可靠性与稳定性。
灵活定制
±6kPa~1000kPa内量程可定制,支持多种压力应用场景,灵活性高。还可支持整张Wafer或die on Tape供货,且玻璃衬底可选。
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CDZVT2R20B | ROHM Semiconductor | |
RB751G-40T2R | ROHM Semiconductor | |
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