蔡司用于亚10纳米级应用的离子束显微镜ORION NanoFab,集 3 种聚焦离子束于一身的显微镜,可以实现亚 10 nm 结构的超高精度加工快速、精准的亚 10 纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换。
产品特点:
快速亚 10 nm 结构加工
使用氖和氦离子束加工有超高精度要求的精细亚 10 纳米结构。无论是使用溅射、气体辅助切割、气体辅助沉积或是光刻技术刻蚀材料,在亚 10nm 加工应用中 ORION NanoFab 均表现不凡。
集三种离子束显微技术于一体
使用镓聚焦离子束刻蚀大块材料。利用精准的氖离子束快速完成微加工,利用氦离子束加工精细的亚 10 纳米级结构。利用氦和氖离子还可以防止传统 FIB 镓粒子注入引起的基体材料性质变化。
高分辨率成像
借助 0.5 纳米成像分辨率,它可在同一台加工仪器中实现样品的高分辨率成像。与使用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)成像相比,其可获得 5 至 10 倍的景深并和更丰富的图像细节
ORION NanoFab 集镓、氖、氦三种离子束于一身,是能实现从微米到纳米微加工的先进成像加工系统。
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