蔡司ORION NanoFab离子束显微镜是一款集3种聚焦离子束于一身的显微镜,可以实现亚 10nm结构的超高精度加工。它能够快速、精准的亚10纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换:氖离子束可以快速高效地进行纳米结构加工、氦离子束可以加工亚 10nm 级精度的结构、备选的镓聚焦离子束能够进行大块样品材料的刻蚀。
产品特点:
蔡司ORION NanoFab离子束显微镜是一款集3种聚焦离子束于一身的显微镜,可以实现亚 10nm结构的超高精度加工。它能够快速、精准的亚10纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换:
氖离子束可以快速高效地进行纳米结构加工。
氦离子束可以加工亚 10nm 级精度的结构。
备选的镓聚焦离子束能够进行大块样品材料的刻蚀。
ORION NanoFab 集镓、氖、氦三种离子束于一身,是能实现从微米到纳米微加工的先进成像加工系统。
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