冲击加速度传感器

发布时间：2023-02-28 14:54
作者：Ameya360
来源：网络
阅读量：1507

　　冲击加速度传感器，采用MEMS技术与微电子技术成果研制而成，集加速度传感器、信号变换器、电源变换器、信号滤波电路、饱和控制与温度补偿于一体，具有微体积、微功耗、微噪声、高集成、高稳定、高可靠、低温漂、环境适应性强等特点。

冲击加速度传感器

冲击加速度传感器结构

　　冲击加速度传感器的结构形式多，常见的有柱式、膜片式结构，图中是我们采用的周边圆支圆形规膜片结构，中心带敏感质量块。靠近圆膜片边缘应变最大的位置，用扩散参杂法沿径向110和切向110晶向扩散四个阻值相等的电阻条，经蒸渡铝电极链接4个性能一致的电阻构成惠斯顿电桥。

冲击加速度传感器技术指标

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冲击加速度传感器特点及参数

　　适用于最大量程达100000g 的冲击加速度参数测量与控制。

　　量程 ±100000g

　　频率响应 0.1～10000Hz

　　输出信号 0.15 ±50mv～4800mv(可变) 测量线性度、重复性及迟滞性

　　均优于1% 供电电压 ±15±0.5V 功耗


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