欧姆龙温度均一技术在SEMI匀胶显影机上的应用

发布时间：2022-07-08 10:55
作者：Ameya360
来源：欧姆龙
阅读量：2941

    工艺介绍

    涂胶显影机是芯片制成光刻工艺段非常重要的设备，用于实现光刻胶的超薄胶膜。总共分为两个步骤：

    一、涂胶工艺：通过胶头将光刻胶滴到晶圆表面，真空吸盘吸住晶圆高速旋转进行匀胶。

欧姆龙温度均一技术在SEMI匀胶显影机上的应用

    二、均胶完成后进行烘烤坚膜，通过加热盘使光刻胶中的有机溶剂挥发，生成光刻胶的超薄胶膜。

欧姆龙温度均一技术在SEMI匀胶显影机上的应用

    课题

    1. 升温速度不统一以及温差波动，

    造成晶圆加热不均

    一旦加热盘存在加热不均的现象，可能使得光刻胶中的部分有机溶剂无法得到有效挥发，影响最终生成的胶膜品质。

    2. 人工调盘，过程复杂，耗费工时

    解决方案

    通过温度均一控制技术，

    实现高精度的均匀加热

    通过优化算法与MATLAB实现均匀加热的自动补偿算法（我们称之为温度均一控制技术），使各分区控温精度达到了±0.05℃，温度均一性达到了R=0.275。

欧姆龙温度均一技术在SEMI匀胶显影机上的应用

    调整时间仅需2秒，

    完全替代人工调盘

    只需简单设定，即可实现整个空间或表面分布同一指定量。将原来需要人工调整的工作实现了全自动化，大幅减少人件费的投入，并降低了对熟练工的依赖。

    控制系统

    机械自动化控制器 NJ / NX系列

    NX系列 EtherCAT连接器单元

    NX系列 温度输入单元

    NX系列 数字输出单元

欧姆龙温度均一技术在SEMI匀胶显影机上的应用

    实现价值

    控温精度：±0.05℃

    温度均一性：R=0.275，其中R=Tmax-Tmin。

    调整时间：2秒

    【经营层】

    ■ 在整个SEMI行业激烈的竞争环境下，此次温度均一控制技术在涂胶显影机的应用，打破了国外厂商的技术垄断，助力企业进一步提升行业地位。

    【管理层】

    ■ 温度控制精度的提升，完全建立在控制系统与程序的优化，无需更改机械结构和运动时间，导入时间更快且成本更低。

    ■ 通过优化算法，使各分区控温精度达到了±0.05℃，温度均一性达到了R=0.275，大幅提升了设备的性能指标与自动化水平。

    【工程师层】

    ■ 将原来需要人工调整的工作实现了全自动化，工程师可以释放双手，从事更具创造性、挑战性的工作。

    ■ 欧姆龙工程师全程参与指导，后期项目调整，只需自行修改参数即可。

（备注：文章来源于网络，信息仅供参考，不代表本网站观点，如有侵权请联系删除！）

上一篇：尼得科追寻新趋势：碳中和、5G、数字化转型等

下一篇：尼得科推出仓储车转向电机可实现安全可靠制动

在线留言询价

相关阅读
走进欧姆龙：领略全球自动化领军者的制造革新理念
行业新闻

走进欧姆龙：领略全球自动化领军者的制造革新理念

　　提到欧姆龙，你会想到什么?是为无数家庭带来健康守护的电子血压计、体温计等医疗产品?还是与世界冠军同台竞技的乒乓球教练机器人?还是应用广泛的传感器、控制器、继电器等自动化控制及电子设备?　　2024年6月24日下午，e-works 第八届日本精益制造考察团来到了欧姆龙，深入参观了位于日本兹贺县的欧姆龙草津工厂，领略了欧姆龙制造革新理念i-Automation!的深刻内涵及其在草津工厂的应用实践，并与欧姆龙工作人员座谈交流，近距离感受这家企业成为行业领军者的奥秘。　　一. 从小工厂到全球知名品牌　　欧姆龙成立于1933年，起源于创始人立石一真先生创建的一家名为立石电机制作所的小型工厂，主要制造定时器和保护继电器，当时仅两名员工，这成为了欧姆龙株式会社的起点。1943年，欧姆龙成功研发日本首个微型开关，并率先开发控制组件，为其开启自动化事业奠定了基础。1952年，欧姆龙确立不再局限于传统的电器产品，而是将自动化和控制技术作为新的发展方向，这一决策为其后来的腾飞插上了翅膀。此后，欧姆龙在自动化领域不断突破，率先研发并生产了一系列划时代的产品与设备，从无触点接近开关、电子自动感应信号机，到自动售货机、车站自动售检票系统，在线自动提款机，家用血压计等。　　1990年，立石电机正式更名为“欧姆龙株式会社”，实现了公司名称与品牌名称的统一。自此以后，欧姆龙凭借其在传感与控制技术领域的领先地位，不断拓宽自动化边界与产品线，并加速其全球化布局。2022年，欧姆龙立足时代潮头，启动“Shaping the Future 2030”长期战略规划，以自动化助力实现碳中和、数字化社会，及延长健康寿命。　　历经九十多年的创新传承与持续突破，欧姆龙已成为全球知名的自动化控制及电子设备制造厂商，掌握着领先的传感与控制技术。产品涉及工业自动化、电子元器件、社会解决方案、健康医疗、数据解决方案5大业务领域，品种多达数十万种。其中，工业自动化事业约占销售额的一半，是欧姆龙的主力事业，且PLC和机器人等产品在全球范围内具有很高的市场份额。欧姆龙在全球已拥有超过2.9万名的员工，营业额达8,188亿日元，业务遍及全球120多个国家和地区。　　欧姆龙各事业领域及其在集团销售总额中的比例　　中国是欧姆龙在全球最大的海外市场。自上世纪七十年代初期进入中国，到1991年在大连设立第一家制造健康医疗设备的工厂，再到1996年在上海同时投资生产继电器、传感器和可编程控制器的3家工厂，再到2002年成立了仅次于日本总部的“中国本部”，欧姆龙当前已经在中国(包括香港特别行政区和台湾地区)设立21家独资或合资工厂及公司。其中，欧姆龙自动化(中国)有限公司已成为自动化领域的佼佼者。欧姆龙在中国地区的销售额达1,719亿日元，员工人数8,500人(截止到2024年3月)。　　考察团倾听欧姆龙介绍　　二. 基于"i-Automation!"进化的　　3项近未来自动化　　自成立以来，欧姆龙始终秉持着“企业是为社会做贡献的”理念，强调以创新为指引，解决各种社会课题。也正因如此，欧姆龙持续聚焦社会课题与客户课题之间的关联，并通过解决社会课题驱动企业发展。凭借着“传感&控制+思考”的自动化技术体系，欧姆龙不断在各个领域扩展自动化应用的范围和场景，并以此作为解决社会需求的利器。同时，为解决社会课题，利用自身的实践不断探索，创造出新的事业，再将所得收益在新的领域进行再投资，形成持续创新的良性循环。　　近年来，为了应对客户需求⾼品质化、多样化，生产线劳动力短缺及人力成本增加，制造业整体向低碳方向转型等课题，欧姆龙提出了在制造现场解决社会性课题的制造革新理念“i-Automation!”，并融合进化为“超越人的自动化”“人机的高度协作”“数字工程革新”这3项近未来制造业形态。　　欧姆龙制造业革新理念“i-Automation!”　　(来源：欧姆龙官网)　　基于长期为生产现场提供各种设备服务的丰富经验，欧姆龙深谙生产现场蕴藏着无尽的潜力——有着熟练工的技巧、改善活动等强大的生产力量，以及有助于解决经营课题的生产启示。因此，他们认为生产现场是解决各种课题的关键。而其i-Automation!则深刻诠释了生产现场革新的三大核心层次：超越人的自动化，即对于以往只能依赖于人力的工匠技艺，能在结合生产现场数据收集的基础上，通过革新性控制技术实现高度自动化;人机的高度协作，即进化人和机械的协作技术，让机械接近于人，最大程度地激发人的可能性，旨在实现人与机械共同成长、进化的劳动密集型新型制造业;数字工程革新，即通过在数字化空间内重现“现场”运行的“现物”，构建即使从远程也可以准确把握“现实”的环境，实现现场状态可视化，加速制造现场改善，助力业务流程革新。欧姆龙则以控制应用的形式，提供实现上述高度自动化的解决方案，并通过在自身工厂实践，不断打磨使其成为扎根现场的技术，在全球进行推广，赋能制造业转型升级。　　三. 活用数据，加速现场改善　　草津工厂作为欧姆龙控制器业务的生产主力之一，是率先将以“i-Automation!”理念为核心的生产解决方案引入生产现场的工厂。在欧姆龙草津工厂厂长横内的带领下，考察团依次参观了草津工厂SMT基板安装车间和装配检测车间。　　据横内先生介绍，草津工厂生产约4800种FA的控制器类产品，可谓是超多品种少量生产。为了高效推进超多品种少量生产，草津工厂以“i-Automation!”为指引，从数据着手，不断收集、分析并可视化从生产线上获得的各种数据，持续探究将先进生产技术与人类现场灵活应变能力相结合的方案，以提高生产线的运转率。　　在参观主板SMT产线过程中，横内先生重点向考察团展示了“基于数据可视化的生产改善。”他表示，SMT基板安装有8条产线，并采用“一个流”的生产方式，通过对每一道工序执行时间及运行状态的数据收集，形成可视化视图，从而让那些即使是熟练人员仅凭经验和直觉也无法轻易发现的改进点能主动呈现，从而快速找到改善点，包括哪一条产线的哪一道工序在哪个时间出现了何种问题。目前，在SMT基板安装线，非熟练工只需用原来的1/6时间就可提取出改善点。考察团成员纷纷对欧姆龙产线在数据采集与分析方面的精细程度表示惊叹。　　利用大数据分析实现整条生产线的可视化　　(来源：欧姆龙官网)　　四. 以自动化赋能人类　　正如欧姆龙制造业革新理念“i-Automation!”中的“人机的高度协作”层次，欧姆龙一直强调“以自动化赋能人类”的理念。早在上世纪90年代，欧姆龙创始人立石一真先生就传达过这一理念:“机器可以做的事情就让机器去做，人应该从事更具创造性的工作”。　　在欧姆龙草津工厂这一理念可谓是贯彻得淋漓尽致。在装配检测车间，考察团观摩了SMT混流自动化产线。由于工厂生产产品规格的多样性，一条混流产线一天要进行250次换模。为了快速响应需求变化并提高生产效率，草津工厂一方面采用了混流单元生产方式，即由一个或者少数几个作业人员承担和完成单元内所有工序，并将作业台布局为U字型，不仅优化了人力资源配置，还显著增强了生产线的应变能力;另一方面基于IE工业工程的作业分析，结合经济等方面选择了人与机械优化协作的“半自动化”。其中，对于简单重复、姿势辛苦、容易发生遗漏的多点比对检查等工序，采用自动化来提高生产效率;对于人工操作简单，但机械不擅长的工序，则不勉强进行自动化，以便灵活应对生产品类的变化。　　草津工厂人与机械优化协作的“半自动化”　　(来源：欧姆龙官网)　　例如，部件供应通过机器人实现了自动化，杜绝多品种少量生产中因频繁切换生产品类而发生的部件拣选错误风险。机器人按照生产品类，准确拣选需要的部件、附件，经摄像头检查后，通过传送带供应给作业人员。另外，将过去需要依赖熟练工感觉、经验的功能检查工序，改由图像识别装置检查，检查过程中的开关切换确认也实现自动化，达到了品质稳定。　　最终，草津工厂SMT混流自动化产线以全自动化1/10的成本，使作业总工时实现了50%的自动化;生产效率提高到了采取措施之前的200%以上，同时还借助机械化的效果，减少了制造不良。另外，还将过去3条手工组装混流单元生产线通过“半自动化”整合为1条，提高了组装所需要的人员和空间效率。　　此外，在装配检测车间，草津工厂应用了100台移动机器人用于成品运输。以前产品完成生产后，是由物流人员去各个产线收集成品，一天要走13公里，在应用移动机器人后，产品可以随时被运输，显著减少了物流人员，并大大提升了物流运输效率。值得一提的是，草津工厂还利用低成本自动化(LCIA)技术，成品可通过非电力方式直接运输至移动机器人。在成品检测环节，草津工厂应用了AOI检测，并通过印刷检查、部品安检检查、焊接检查、AOI与人联合检测等流程，实现工序不良率62 ppb，目测检查人员减少1/2。　　应用移动机器搬运成品 (来源：欧姆龙官网)　　工业机器人视觉检测 (来源：欧姆龙官网)　　五. 后 记　　欧姆龙作为一家拥有九十多年历史的跨国性企业集团，从一间小工厂起步，到如今成长为工业自动化、电子元器件、健康医疗等领域的领航者。在这一过程中，欧姆龙对技术创新的执着追求、以创新能力解决社会课题的发展路径、不断挑战与尊重人性的价值观等，无一不是其发展壮大的秘诀。尤其是欧姆龙的“企业是为社会做贡献的”理念，让人印象深刻。其以解决社会问题为己任，将自身发展融入社会进步转型的宏大背景之中，形成可持续创新的良性循环。　　通过此次参观与交流，考察团在深入了解欧姆龙公司和制造业革新理念“i-Automation!”及其具体应用的同时，也深刻感受到了欧姆龙对于数字化和智能化转型的理解，包括注重数据驱动的生产现场改善;坚持“适度”自动化与智能化;以人为本，强调借助高度自动化，不懈探索人与机器之间的融合发展，实现赋能人类的自动化。　　考察团在欧姆龙草津工厂合影
2024-07-31 10:16 阅读量：370
一汽丰田到访欧姆龙参观交流，共鉴数智化革新应用！
行业新闻

一汽丰田到访欧姆龙参观交流，共鉴数智化革新应用！

　　近日，一汽丰田汽车有限公司生产制造技术部长刘鑫一行到访欧姆龙自动化展厅及工厂参观交流。此行聚焦于欧姆龙数智化技术和解决方案，并深入探讨其在工厂数字化革新领域的最新应用与发展情况。欧姆龙自动化(中国)有限公司第二行业开发统辖事业部战略统辖部长唐云、自动化技术中心服务商品部长王琦等相关负责人出席。　　一汽丰田汽车有限公司是由中国第一汽车股份有限公司与日本丰田汽车倾力打造的大型汽车企业产业集群。历经二十年稳健发展，一汽丰田已成为中国乘用车企业的中坚力量。面对全球汽车市场的激烈竞争，特别是在中国本土品牌迅速崛起的背景下，一汽丰田不断探索和实践，追求制造环节的精益化，以科技创新驱动企业持续向前。　　欧姆龙作为一汽丰田长期信赖的合作伙伴，秉承创新精神，始终致力于为客户提供前沿的自动化技术和解决方案，助力客户应对挑战，加速向智能制造转型。　　在欧姆龙自动化展厅和工厂，一汽丰田访问团观摩了欧姆龙核心技术和革新应用，亲身体验了欧姆龙机器人在自动化生产线上的高效运作，详细了解了欧姆龙智能化平台在柔性化生产、品质提升、生产效率优化等领域的关键作用，双方围绕工厂数字化、汽车行业智能化及省人化应用场景进行了深入对话。　　一汽丰田访问团对欧姆龙提出的 “超越人的自动化”和“人机的高度协作”两大制造业升级方向表示高度认同，尤其对“机器可以做的事情就让机器去做，人应该在更具有创造性的领域享受乐趣”的理念深感共鸣。　　此次交流活动，增强了双方在数字化应用、生产管理、产线升级等领域发展情况的相互了解，共同展望了数字化智能工厂的发展方向，并期待为共同推动中国汽车制造业的繁荣发展做出进一步贡献。
2024-07-30 09:32 阅读量：504
欧姆龙荣膺CAIMRS“自动化+数字化50强品牌”及 “工业机器人创新奖”
企业动态

欧姆龙荣膺CAIMRS“自动化+数字化50强品牌”及 “工业机器人创新奖”

　　近日，在中国工控网主办的“2024中国自动化+数字化产业年会”(CAIMRS 2024)上揭晓的年度评选结果中，欧姆龙自动化(中国)有限公司 “协作机器人TM S系列”荣获“工业机器人创新奖”，并蝉联年度自动化+数字化50强品牌，这些荣誉充分彰显了欧姆龙在自动化、数字化领域强大的创新能力和品牌影响力。　　欧姆龙深耕自动化行业，不断推进创新研发的步伐，并将尖端解决方案与丰富的行业经验相融合，凭借对市场需求的敏锐洞察和快速响应，助力客户提质增效，为行业的高速发展注入强大动力。此次蝉联“自动化+数字化50强品牌”，不仅凸显了客户对欧姆龙的深厚信任，更是业界欧姆龙贡献的广泛认可。　　在产品奖项评选环节，欧姆龙协作机器人TM S系列，凭借其高度灵活性和智能化水平，斩获“工业机器人创新奖”。　　协作机器人TM S系列旨在实现与人和机器的协同工作，轻松部署，以满足不同任务和应用需求，从而实现灵活生产。TM S系列包含多种型号，丰富的工作半径和有效载荷，确保可满足不同行业、不用场景的应用要求;此外，还提供多种硬件选项以及灵活扩展的安全功能和认证，为阵容强大的协作机器人产品系列新添更多性能与功能选择。　　双项殊荣不仅是对欧姆龙持续追求卓越和创新精神的肯定，更是激励我们继续在技术前沿探索的动力。欧姆龙将通过不断的技术创新和产品升级，与制造业合作伙伴携手并进，共同推动自动化与数字化领域的可持续发展。
2024-03-21 10:36 阅读量：996
电子设备制造巨头欧姆龙裁员2000人
行业新闻

电子设备制造巨头欧姆龙裁员2000人

　　集微网消息，日本电子产品制造商欧姆龙2月26日表示，该公司将在国内外裁员2000人，因为其在中国的工厂自动化设备业务陷入困境，导致该公司自2002年以来首次大规模裁员。　　2023年3月欧姆龙的综合员工总数约为28000人，2000人的离职将意味着劳动力减少约7%。　　欧姆龙将从四月到五月在日本提供员工自愿离职或提前退休计划。其目标是与截至2024年3月的年度预测相比，在截至2026年3月的年度减少固定成本300亿日元(2亿美元)。这一目标将通过到2025年9月进行国内外结构性改革来实现。　　该公司还致力于削减销售、一般和管理费用，目标是在中期将这些费用与销售额的比例从截至2024年3月的年度的32.7%降至30%以下。　　早在2002年，欧姆龙就对约1460名员工推出了自愿离职计划。　　欧姆龙截至3月份的年度综合净利润预计将下降98%至15亿日元。由于控制设备业务(包括主要在中国的工厂自动化)下滑，该制造商于2月5日第二次下调了今年的盈利预测。　　关于公司的结构性改革计划，欧姆龙总裁辻永顺太(Junta Tsujinaga)在2月26日的在线分析师说明会上表示：“我们将减少对中国市场的依赖。”　　欧姆龙认为其突然的下滑是因为过度专注于中国的半导体和电动汽车电池制造商，公司正在加紧寻找美国和欧洲的客户。在努力清理过剩库存的同时，公司将探索包括食品、日用品和医疗产品在内的行业的需求。　　该公司还旨在夺回被中国工厂自动化设备制造商占领的市场。欧姆龙认为，它在供应链中断期间失去了市场份额，并正在通过重新思考产品开发来卷土重来。
2024-02-27 11:06 阅读量：1776
热门分类
盒子，外壳，机架 电缆，电线 电路保护 连接器，互连器件 开发套件 机电产品 嵌入式解决方案 风扇，热管理 光电元件 其它 无源元件 电源 半导体 传感器，变送器 测试与测量
  • 一周热料
  • 紧缺物料秒杀
型号 品牌 询价
CDZVT2R20B ROHM Semiconductor
TL431ACLPR Texas Instruments
RB751G-40T2R ROHM Semiconductor
MC33074DR2G onsemi
BD71847AMWV-E2 ROHM Semiconductor
型号 品牌 抢购
STM32F429IGT6 STMicroelectronics
TPS63050YFFR Texas Instruments
ESR03EZPJ151 ROHM Semiconductor
BP3621 ROHM Semiconductor
IPZ40N04S5L4R8ATMA1 Infineon Technologies
BU33JA2MNVX-CTL ROHM Semiconductor
热门标签
ROHM
Aavid
Averlogic
开发板
SUSUMU
NXP
PCB
传感器
半导体
原厂授权品牌
更多授权品牌>>
资讯排行榜
  • 周排行榜
  • 月排行榜

相关百科
关于我们
AMEYA360微信服务号 AMEYA360微信服务号
AMEYA360商城(www.ameya360.com)上线于2011年，现 有超过3500家优质供应商，收录600万种产品型号数据，100 多万种元器件库存可供选购，产品覆盖MCU+存储器+电源芯 片+IGBT+MOS管+运放+射频蓝牙+传感器+电阻电容电感+ 连接器等多个领域,平台主营业务涵盖电子元器件现货销售、 BOM配单及提供产品配套资料等，为广大客户提供一站式购 销服务。