瑞萨半导体加工技术的历史、趋势和演变

Release time:2023-07-28
author:AMEYA360
source:网络
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  半导体行业正在经历数字、模拟、工具、制造技术和材料方面的巨大进步。芯片开发在从设计到生产的各个层面都需要高度精密和复杂的过程。推进这一过程需要从建筑设计到可持续材料和端到端制造的重大变革,以满足对半导体不断增长的需求。为实现这一目标,业界正在采用最新技术来提高高度先进工艺节点的效率和产量。

瑞萨半导体加工技术的历史、趋势和演变

  半导体,物联网和数字化转型的支柱

  我们正在见证物联网(IoT)、智能设备和最近的5G领域的重大进步。要了解这些创新将引领我们走向何方,以及我们应该对它们有何期待,我们需要对使这一新的创新浪潮成为可能的基础技术有一个基本的了解。随着半导体技术驱动的物联网(IoT)和5G的发展,人工智能的演进将比以往任何时候都更快。在过去的30年里,半导体技术的发展一直是计算能力增长的原动力。据说半导体约占计算硬件成本的 50%。基于半导体技术,人工智能计算设备与社会的融合将更加无缝和无孔不入。一个例子是自动驾驶汽车,它使用无处不在的移动边缘计算和复杂的算法来处理和分析驾驶数据。基于5G通信基础设施,人工智能(AI)和机器学习使用计算机视觉了解周围场景,然后规划和执行安全驾驶操作。这使出行更安全、更智能、更高效。物联网设备几乎可以将任何产品变成智能设备,从供水系统到服装。零售、医疗保健、生命科学、消费品和工业物联网都有很高的需求。

  未来的创新还将使个性化芯片更容易获得,并使芯片生产更有效,最重要的是,更具可持续性。随着互联设备越来越普遍,物联网(IoT)对半导体行业非常重要。随着智能手机行业停滞不前,半导体行业必须寻找其他具有增长潜力的途径。尽管面临挑战,物联网仍然是该行业最合乎逻辑的选择。没有传感器和集成电路,物联网应用就无法运行,因此所有物联网设备都需要半导体。多年来推动半导体行业增长的智能手机市场已经开始趋于平稳。物联网市场可以为半导体制造商带来新的收入,并在可预见的未来保持半导体行业以3%至4%复合年增长率的增长。

  半导体的大趋势和未来机遇

  半导体技术工艺节点是衡量芯片晶体管和其他组件尺寸的指标。这些年来节点的数量一直在稳步增加,导致计算能力相应增加。节点通常意味着不同的电路世代和架构。一般来说,更小的技术节点意味着更小的特征尺寸,这会产生更小、更快、更节能的晶体管。这种趋势使我们能够开发更强大的计算机和更小尺寸的设备。工艺节点和CMOS晶体管性能之间存在关系。频率、功率和物理尺寸都受工艺节点选择的影响。这就是了解半导体工艺如何随时间演变的重要性的原因。半导体技术节点的历史可以追溯到20世纪70年代,当时英特尔发布了第一款微处理器4004。从那时起,由于半导体技术节点尺寸的进步,我们看到计算能力呈指数级增长。这使我们能够创造出更小、功能更强大的设备,例如智能手机、平板电脑和可穿戴设备。Apple A15 Bionic是当今大多数Apple最新产品的核心,采用7纳米节点技术的近40亿个工作晶体管。

  工艺节点在半导体技术中的作用

  半导体节点是决定微控制器性能的关键因素。随着技术的进步,每个微控制器中的节点数量不断增加。这一趋势在过去几年中已经观察到,预计今后将继续下去。技术节点(也称为工艺节点、工艺技术或简称为节点)是指特定的半导体制造工艺及其设计规则。不同的节点通常意味着不同的电路世代和架构。一般来说,工艺节点越小,特征尺寸越小,晶体管越小,速度越快,越节能。历史上,工艺节点名称指的是晶体管的许多不同特性,包括栅极长度和M1半节距。最近,由于各种营销活动和代工厂之间的分歧,这个数字本身已经失去了它曾经拥有的确切含义。较新的技术节点,如22纳米、16纳米、14纳米和10纳米,仅指采用特定技术制造的特定世代芯片。它不对应于栅极长度或半间距。尽管如此,命名约定还是得到了尊重,这就是主要代工厂对节点的称呼。

  早期的半导体工艺有任意的名称,例如,HMOS III,CHMOS V。后来,每个新一代工艺都被称为技术节点或工艺节点,以工艺晶体管的纳米(或历史上的1微米)工艺的最小特征尺寸来表示栅极长度,例如“90纳米工艺”。然而,自1994年以来,情况发生了变化,用于命名工艺节点的纳米数已成为一个营销术语,与实际特征尺寸或晶体管密度(每平方毫米的晶体管数量)无关。

  技术节点流程的演变

  本质上,技术节点是对应于晶体管的物理特征尺寸。最初,每个微控制器都是由晶体管组成的,晶体管基本上是控制电流流动的开关,允许微控制器执行其逻辑功能。诸如28纳米或65纳米的技术节点指的是可以绘制在布局上的最小数据图形特征(半个间距或栅极长度)。然而,技术节点的命名没有标准化。诸如28 nm或65 nm之类的节点名称实际上来自传统平面MOSFET配置中所示的晶体管的最小栅极长度。一般来说,技术节点给出了晶体管在每平方毫米基板上的密集程度。从22纳米技术开始,该技术已经转向鳍式场效应晶体管(FinFET),其中FinFET后面的架构是三维配置,并且栅极长度的术语不再适合描述工艺技术。如今,随着技术从平面结构转向FinFET或全栅极FET(GAA FET),10和5纳米等技术节点不再对应于任何栅极长度或半间距距离。

  瑞萨电子在开发支持下一代物联网设备的新工艺技术方面发挥着至关重要的作用。随着物联网(IoT)变得越来越重要,设备设计人员现在正在寻找使他们的设备更小、更快和更节能的方法。为了满足这些需求,瑞萨开发了一种新的工艺技术,使物联网设备的体积比以前小得多,同时功耗更低。40纳米工艺针对基于闪存的微控制器的最低功耗和最高性能进行了优化,而110纳米工艺针对宽电压范围和最低功耗操作进行了优化。结果是瑞萨电子的RL78、RA和RX微控制器比以往任何时候都执行得更快,功耗比以往任何时候都低,同时仍保留其所有功能和特性

  瑞萨一直是工业和消费电子产品半导体解决方案的领先提供商,并以其在开发新技术以支持物联网(IoT)和最近的AIOT(人工物联网)方面的先进工艺而闻名。这方面的一个例子是我们专注于开发110纳米领域的内部低功耗工艺技术,即MF4。它允许瑞萨开发适用于广泛终端的超低功耗设备。随着我们迈向一个从汽车到家电的一切都与互联网相连的世界,对这种低功耗设备的需求变得越来越重要,而且随着越来越多的设备联网,对能源消耗的需求也在增加。为了解决这一问题,瑞萨开发了一种新的电源管理系统,可降低高达30%的能耗。这个新系统允许他们制造比以前更小的芯片,需要更少的能量。

  瑞萨丰富的微控制器和SoC产品线提供广泛的数字和模拟功能,包括各种物联网应用所需的宽性能范围和低功耗或能量收集能力。为了从头到尾支持您的设计,瑞萨还提供合作伙伴平台、软件和开发工具。瑞萨电子的IC和模块使您能够精确地感知、理解和发送来自传感器的智能数据到云端。我们诚邀您利用我们先进的半导体技术,满足您的功耗、性能和安全要求,并帮助您在创纪录的时间内提供下一代设计。


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技术干货丨瑞萨:利用汽车电感式位置传感器推动线控和电机控制的未来
  汽车行业正处于历史性变革之中。电气化、自动驾驶和软件定义架构正在重塑车辆设计和功能。最关键创新应用包括:  1、线控转向、制动相关应用;  2、转向、制动、节气门和变速箱中机械连杆的电子替代;  3、动力总成的高速电机控制。图1:面向汽车全球市场的全球线控系统。不同型号车辆的市场规模。*资料来源:2030年汽车线控系统市场规模报告  这些技术助力车辆实现轻量化、更安全、高能效的升级,却也带来了传统传感解决方案难以应对的新挑战。  现代汽车系统面临的主要挑战  更高功能安全:转向和制动是安全关键功能。任何故障都可能导致灾难性事故。这些系统必须符合ISO 26262标准并达到ASIL D等级(汽车安全完整性等级),实现跨平台和架构安全性的同时,保持高性价比,且传感器必须提供冗余通道、诊断和故障安全机制。  电磁抗扰度:电动汽车动力总成和高压系统会产生强大的杂散磁场。传统的磁传感器(霍尔效应、磁阻式)可能会出现信号失真或故障。传感器不受杂散磁场干扰的特性,可确保在恶劣的电动汽车环境中可靠运行。  紧凑、轻巧的设计:设备制造商的目标是减轻重量以提高效率和续航里程。因此,位置传感器必须安装在狭小的空间内,且需保证高精度和高可靠性。这意味着基于PCB的电感式传感器将取代笨重的旋转变压器或基于磁铁的传统方案。  高速性能:支持600k rpm的电气转速。这对传感器的要求很严格:超低延迟(<100ns)和高分辨率,以实现精确控制,任何延迟或错误都可能导致扭矩纹波、振动或安全隐患。  成本和可持续性:传统传感器中使用的稀土磁铁价格昂贵且存在环境问题。目标去除磁铁并简化机械设计。因此,无磁电感式传感器可降低成本,提高可回收性,并支持可持续发展目标。图2:汽车线控系统市场。市场份额-按具体应用分类。  瑞萨电感式位置传感器  瑞萨电子新发布的电感式位置传感器(IPS)IC,包括车规级RAA2P452x和RAA2P4500,为这些挑战提供了突破性的解决方案。利用无磁电感技术,这些传感器提供:  杂散磁场免疫:IPS技术本质上不受磁干扰,使其成为电动汽车环境的理想选择。  高精度和速度:高达19bits分辨率和低于100ns的传播延迟确保了高速电机的精确控制。  灵活的配置:支持转向、制动和牵引应用的轴端、穿轴和轴侧设计。  纤薄、轻巧的外形:非常适合空间受限的汽车系统。  ISO 26262合规性:实现ASIL C/D系统级安全要求。  免维护操作:无磁铁、无磨损、无需重新校准,降低成本。  瑞萨IPS与MCU、驱动芯片等相结合,可为客户提供线控转向、线控制动和主驱电机控制的完整解决方案。  为什么选择电感技术  与磁性或光学编码器相比,电感式传感器在严苛的汽车应用环境中表现突出:  不受灰尘、湿气、振动和杂散磁场的影响。  无稀土磁铁,成本低,环境影响低。  长期稳定,减少维护需求。  这使得IPS成为下一代电动汽车和ADAS平台的理想选择。  使用电感式位置传感器线圈工具加速您的设计  为了简化定制,瑞萨电子提供了电感式位置传感器线圈工具,这是一种功能强大的基于Web的设计工具,可以:  自动执行线圈布局和仿真。  预测线性误差和电感。  提供用于PCB制造的Gerber文件。  支持旋转、线性和圆弧运动模板。  使工程师能够实现最佳性能,而无需手动试错。
2026-01-27 10:36 reading:320
AI驱动洞悉未来,瑞萨电子智能监控新方案来了
  随着城市化进程的提速,安全保障与财产防护成为城市建设环节不可或缺的一部分。传统被动式监控已难以应对复杂的安防需求,人工智能技术正重塑安防行业格局——AI摄像头不仅能实时记录,更能主动识别物体、分析异常行为,提供比传统系统更智能高效的解决方案。在这一变革浪潮中,瑞萨凭借创新的产品组合,可为各类智能监控应用场景提供精准适配、高效稳定的核心硬件支撑。  双架构智能监控方案:性能与成本的平衡艺术  在AI监控摄像机领域,瑞萨通过创新的双路径解决方案,巧妙平衡了高性能与低成本的需求。基于MPU的方案依托DRP技术实现了卓越的AI处理能力与低功耗表现;而基于MCU的方案则以经济成本提供了接近MPU级的性能。  两个平台均支持4K高清处理、先进降噪及多重安防功能,在复杂光线下依然可保证图像清晰度,为精准AI识别提供可靠基础,展现了智能监控领域性能与成本的平衡艺术。  方案一:基于MPU的高性能监控摄像头  该方案以RZ系列32位/64位MPU为核心,集成RZ/V2M人工智能加速器(DRP-AI)与4K兼容图像信号处理器(ISP),构成了专为实时人类与物体识别优化的视觉AI ASSP。高性能监控摄像头(基于MPU)框图  RZ/V2M MPU集成了创新的DRP-AI硬件IP,将动态可重构处理器与AI专用计算单元相结合,使其成为AI推理应用的理想选择。此外,图像信号处理器(ISP)具有高度的鲁棒性,能够产生不受环境影响的稳定图像,从而实现高的人工智能识别精度。  RZ/V2M无需散热器和冷却风扇,有效解决了嵌入式设备的散热挑战,在实现设备小型化的同时降低了系统成本,非常适合监控安全、零售、办公自动化(OA)、工业自动化、机器人和医疗保健等视觉AI应用。丰富的接口配置进一步拓展了其应用可能性。  该方案采用多层电源架构,核心为高集成度9通道PMIC RAA215300。该芯片专为先进处理器设计,全面支持DDR/LPDDR内存供电,并内置RTC、振荡器与充电器,为系统模块提供紧凑电源解决方案。方案同时采用RAA210040 DC/DC降压模块和ISL80505 LDO,以满足不同电路精准供电需求,辅以ISL85005与ISL8117降压控制器,共同构建高效可靠的完整电源管理系统。  方案二:基于MCU的成本优化型监控摄像头  该方案的核心是RA8P1系列AI微控制器,是瑞萨电子首款搭载高性能Arm® Cortex®-M85及Cortex-M33,并集成Ethos™-U55 NPU的32位AI加速微控制器(MCU)。该系列通过单芯片实现256 GOPS的AI性能、超过7300 CoreMarks的突破性CPU性能和先进的人工智能(AI)功能,可支持语音、视觉和实时分析AI场景等边缘AI应用。  图4:成本优化型监控摄像头(基于MCU)框图  该方案采用高集成度系统PMIC DA9062。该器件为多核SoC、内存及外设提供完整的电源树管理与多种低功耗模式。它集成了四个大电流降压转换器(单路2.5A,可双相组合至5A)与四个可编程LDO,所有功率开关内置,无需外部FET,结合高频特性显著降低了系统成本与尺寸。方案还选用RAA211630集成FET同步降压稳压器(60V输入,3A输出),共同构建精简高效的电源架构。  共享可靠组件  两个方案在追求各自性能与成本目标的同时,也共享了多项经过验证的优质组件,确保了系统的可靠性与功能完整性:  负载开关均采用SLG59M1714V,具备模拟电流监测与反向电流阻断功能;音频编解码器均使用超低功耗立体声编解码器DA7212,具有“始终开启”电源模式,功耗仅650µW;时钟发生器均为可编程时钟发生器5P35023。  一个细微差别在于,高性能方案额外集成了RX111 MCU作为UART至USB的桥接芯片,利用其USB 2.0(支持BC 1.2充电协议)、低功耗及快速唤醒特性,用于电池充电管理等特定功能。  性能与成本兼得:双擎驱动新一代智能监控  瑞萨的双架构智能监控方案可精准覆盖市场需求。基于MPU的高性能方案采用DRP-AI技术,在超低功耗下实现卓越AI性能与图像质量;基于MCU的成本优化方案则集成Ethos-U55 NPU,以MCU级成本提供媲美MPU的AI处理能力。  两个方案均具备4K图像处理、PoE供电、千兆传输及紧凑设计等优势,支持在复杂光线下精准识别与智能预警。可广泛应用于家庭、商场、交通枢纽等室内外安防场景,为构建更智能、高效的安全监控体系提供核心技术支撑。
2026-01-21 13:31 reading:380
瑞萨RZ/V2N MPU入选中国电子报“人工智能产品编辑选择”案例
  近日,《中国电子报》“盘点2025特刊”发布,公布了“人工智能产品编辑选择”案例。作为《中国电子报》固定栏目,2025年“编辑选择”聚焦一年来电子信息领域热点和焦点,着眼AI应用,综合考虑技术、市场、生态等因素,推选出8个创新产品及解决方案,以期为行业发展树立典范。瑞萨RZ/V2N MPU在本次评选中脱颖而出,获选“AI视觉应用类”案例。  RZ/V2N MPU  作为面向大规模视觉AI市场的中端核心产品,RZ/V2N进一步完善了瑞萨从低端到高端的视觉AI MPU全系列布局。该产品集成了专有AI加速器DRP-AI3与先进剪枝技术,搭载四个Arm® Cortex®-A55 CPU、一个Cortex-M33内核及Arm Mali-C55 ISP,构成完整异构计算平台,支持双MIPI摄像头同步采集,可精准实现跌倒检测、车牌识别等复杂视觉任务。同时具备15TOPS的AI推理性能与10TOPS/W的高能效比,15mm²紧凑型封装使系统安装面积较前代产品减少38%。兼具高性能、低功耗与小尺寸特性,无需风扇冷却即可适配空间受限设备,且配套丰富的开发资源可大大降低开发门槛。该产品可精准契合市场需求,在智慧城市、工业4.0、智能汽车等领域应用前景广阔。  此次入选《中国电子报》“人工智能产品编辑选择”案例,彰显了业界对瑞萨在视觉AI领域产品实力的高度认可。未来,瑞萨将继续深耕人工智能领域,不断推进技术迭代与创新,为全球各行业智能化升级提供更高效、可靠的解决方案,助力客户优化设计流程,加速产品上市进程。
2026-01-15 10:24 reading:423
技术干货丨使用瑞萨REXFET MOSFET降低RDS(on)
  用于大电流应用的MOSFET的核心技术挑战在于,在保持优异开关性能的同时,实现低导通电阻。随着现代电源采用基于PWM的系统和更高的开关频率,最大限度地减少导通损耗和开关损耗变得至关重要。  为应对这一挑战,瑞萨电子的REXFET-1工艺采用分离栅结构,并在此前专注于P柱实现的ANM1/ANM2超结技术基础上进一步提升,以实现:  • RON指数改善至0.24(与前几代的0.36相比)  • 超低导通电阻,可降低导通损耗并降低散热  • 以小型封装实现高功率密度  • 降低栅极电荷(QG)和栅极电容,优化开关特性  结合多线键合(multi-wire)和夹片键合(clip bonding)等先进封装技术,REXFET-1器件在实现低导通电阻和高速开关的同时,满足严格的汽车可靠性标准。  此外,我们采用融合多年经验的坚固设计,确保产品具有高度可靠性和耐用性,使设计人员能够放心使用。我们专门为电池管理系统(BMS)和电机应用设计了80V至150V的REXFET-1系列产品。瑞萨电子MOSFET技术的发展  REXFET-1平台的开发是瑞萨电子在推进功率MOSFET技术方面悠久历史的一部分。从1979年日立推出首款垂直型MOSFET开始,瑞萨电子始终引领行业创新,包括在2003年推出首款用于英特尔芯片组的DrMOS。在接下来的几十年中,超结技术、用于智能手机的倒装芯片封装以及铜夹结构等创新进一步提升了效率和功率密度。瑞萨电子功率MOSFET的发展历程  REXFET-1系统级性能  BLDC电机控制在工业和汽车应用中都非常普遍。为了验证REXFET-1在实际应用中的性能,瑞萨电子在BLDC电机驱动系统中评估了采用TOLL封装的100V和150V产品。我们还将REXFET-1 100V RBA300N10EANS-3UA02(工规版RBE015N10R1SZQ4)和150V RBA190N15YANS-3UA04(工规版RBE039N15R1SZQ4)的性能与市场上的主要器件进行了性能对比。  REXFET-1与竞品器件在最高60A条件下进行了测试,并比较了平均结温。在10kHz和20kHz开关频率下,结温结果保持与最佳竞品器件相当的水平。  REXFET-1器件在相同系统条件下表现出较低的电压振荡和尖峰。在电机控制应用中,较高的振荡和电压尖峰可能导致系统可靠性问题,并产生较高的电磁干扰(EMI)。REXFET-1器件始终表现出具有竞争力的效率、热稳定性和抗EMI能力。100V REXFET-1导通波形比较  我们丰富的REXFET-1产品组合代表了功率MOSFET技术的重大进步。凭借分离栅晶圆工艺和先进的封装技术,REXFET-1器件能够实现:  •与前几代沟槽工艺相比,RSP降低30%  •卓越的导通损耗与开关损耗平衡  •丰富的封装选项(3x3、5x6、TOLL、TOLG、TOLT),以满足多样化的系统需求。  这些创新使设计人员能够在电机驱动、BMS以及其他要求苛刻的应用中实现更高的效率、更大的功率密度和更高的系统可靠性。
2025-12-31 17:01 reading:434
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