尼得科:半导体工业的黄金右臂是怎样炼成的?

发布时间:2024-03-28 11:47
作者:AMEYA360
来源:尼得科
阅读量:676

尼得科:半导体工业的黄金右臂是怎样炼成的?

  从智能手机、个人电脑和汽车等熟悉的设备到通信网络等社会基础设施,毫不夸张地说,半导体是支撑工业的基础。其制造工序多,对洁净度要求极高。尼得科集团生产用于半导体制造现场搬运基板(晶圆)的机械臂。

  机械臂将在预处理工序中接收到的晶圆搬运至下一道工序。近年来,为了保证洁净空间尽可能狭小并在有限的空间内安装更多的半导体制造设备,对紧凑型设备的需求不断增加。

  尼得科集团研发的

  用于搬运半导体晶圆,它通过自主研发的三连杆结构实现了三连杆机械臂。其他公司使用的是双连杆机械臂,而三连杆机械臂可以缩短每个臂的长度,因此我们成功地将移动范围缩小了72mm。半导体制造设备领域中对紧凑性的要求通常是以10mm为单位的,三连杆机械臂对该领域影响深远。

尼得科:半导体工业的黄金右臂是怎样炼成的?

  用于搬运的机械臂在前后摆放着的四个晶圆盒之间来回移动,但通过缩小移动范围,则可以保持半导体制造设备本身的尺寸紧凑。此外还有一项优点是机械臂的总长变长了,因此今后即使增加晶圆盒数量,只要是三连杆机械臂,即可轻松应对。

  可动连杆部分由电机控制。虽然“SR8241”增加了要控制的连杆数量,但使用的电机数量与双连杆机械臂相比并未增多。因此,最大限度地控制了成本的增加。

  在半导体制造现场,小至0.1μm的细微粒子都是不允许的。因此,虽然是在洁净室中制造,但制造设备本身也是发尘源。尤其是具有金属和橡胶相互摩擦的轴承和油封的机器人或机械臂的可动结构是主要源头。

  之所以能够在粒子的源头——机械臂增加连杆,是得益于我们拥有避免粒子释放在洁净的空气中的技术。我们在关节处采用了独特的密封结构,防止粒子溢出。

  机械臂底部装有排气扇。其内部产生下沉气流,粒子被排放至地板下方的排气孔中。此外,晶圆导轨的移动结构也会产生粒子,但机械臂内部会产生真空,因此采用的是吸入结构,以保持空间洁净。凭借这些技术,“SR8241”获得了ISO标准洁净室分类中最高级别的一级洁净度。

尼得科:半导体工业的黄金右臂是怎样炼成的?

  通过使用这种洁净技术,我们实现了移动结构中不释放粒子的结构,因此我们成功采用了可以增加移动结构的三连杆结构。

  虽然连杆数量增加到了三个,但可以简化机械臂的动作,因此每个连杆的移动量得到了控制。由此,可以减轻可动结构的的负荷,以确保其高耐用性。我们建议每5年对机械臂进行一次检修,但“SR8241”已通过表示设备可靠性的“平均故障间隔时间”证明其耐用时间不止5年。

尼得科:半导体工业的黄金右臂是怎样炼成的?

(备注:文章来源于网络,信息仅供参考,不代表本网站观点,如有侵权请联系删除!)

在线留言询价

相关阅读
尼得科​助力数字终端薄型化,提高触觉反馈多样性
日本电产尼得科:制动,更要“智”动
  EBB电子制动助力系统主要通过制动系统实现高制动力和快速的响应速度,缩短刹车距离。而与传统制动系统相比,EBB电子制动助力系统取消了真空助力泵,制动力不再依靠发动机进气负压,而是由电机负责制动液压力控制。  EBB电子助力刹车系统拥有1box和2box两种不同型号,搭载在汽车底盘,用于增强制动助力,在电动或混动车制动时参与进行能量回收,通过系统控制能够实现主动制动,提升行车安全性,也可以满足智能驾驶制动相关要求。  电子机械制动系统  随着行业的不断发展,尼得科一直致力于科技创新,不断推动产品的自我迭代,以适应日益变化的市场需求。基于对市场需求的深入了解和对行业发展的精准把握,我们即将推出的电子机械制动系统融合了优秀的电子控制技术和机械制动系统,代表了尼得科“智造”的新研发成果,旨在为车辆提供更智能、更高效的制动解决方案。  突出特点  1 轻薄短小、高密度磁气设计  2 高性能、迅速反应  高适配性、易接入客户需求  蚁的布局 高市场份额  尼得科以其优质的刹车电机产品深受全球汽车和智能交通行业巨头的青睐,得到了全球市场的广泛认可,拥有较高的市场份额。  虎的力气 实力强劲  尼得科的设计理念以平台化设计为主,从电机直径φ47~φ92都有平台化产品,基本覆盖了客户的大部分要求。拥有磁气、强度、齿轮、热等本地化解析研发团队,可迅速对应客户不同定制化要求。产品通过在复杂环境下的耐久实验,可对应客户不同的安全性要求。  鹰的目光 长线规划  随着企业市场份额的持续增长,主机厂对产品的要求也在不断演变。尼得科通过长线规划不断优化产业布局,持续扩展刹车电机产品线。我们拥有丰富的实力和资源,能够灵活地满足客户需求,并提供符合市场需求的创新产品。
2024-06-06 09:57 阅读量:621
尼得科与中汽研共建“电驱动联合创新试验室”
2024-05-23 11:12 阅读量:1076
尼得科:DIP开关,开合之间掌控自如
  • 一周热料
  • 紧缺物料秒杀
型号 品牌 询价
CDZVT2R20B ROHM Semiconductor
TL431ACLPR Texas Instruments
RB751G-40T2R ROHM Semiconductor
MC33074DR2G onsemi
BD71847AMWV-E2 ROHM Semiconductor
型号 品牌 抢购
BP3621 ROHM Semiconductor
IPZ40N04S5L4R8ATMA1 Infineon Technologies
TPS63050YFFR Texas Instruments
STM32F429IGT6 STMicroelectronics
ESR03EZPJ151 ROHM Semiconductor
BU33JA2MNVX-CTL ROHM Semiconductor
热门标签
ROHM
Aavid
Averlogic
开发板
SUSUMU
NXP
PCB
传感器
半导体
相关百科
关于我们
AMEYA360微信服务号 AMEYA360微信服务号
AMEYA360商城(www.ameya360.com)上线于2011年,现 有超过3500家优质供应商,收录600万种产品型号数据,100 多万种元器件库存可供选购,产品覆盖MCU+存储器+电源芯 片+IGBT+MOS管+运放+射频蓝牙+传感器+电阻电容电感+ 连接器等多个领域,平台主营业务涵盖电子元器件现货销售、 BOM配单及提供产品配套资料等,为广大客户提供一站式购 销服务。