压电驱动器利用逆压电效应,将电能转变为机械能或机械运动,聚合物驱动器主要以聚合物双晶片作为基础,包括利用横向效应和纵向效应两种方式,基于聚合物双晶片开展的驱动器应用研究包括显示器件控制、微位移产生系统等。
按驱动方式不同 ,压电驱动器可分为刚性位移驱动器和谐振位移驱动器。
1 刚性位移驱动器
刚性位移驱动器的驱动模式主要有多层式驱动器和单(双) 晶片驱动器 ,此外还有 Rainbow 驱动器、Moonie 驱动器和 Cymbals 驱动器等 ,几种模式在大小、质量、位移量及负载能力上均各有特点。
2 谐振位移驱动器
谐振位移驱动器(超声波电机)种类繁多 ,从毫米级的微型电机到厘米级的小型电机;从单自由度的直线电机到多自由度的平面电机和球型电机;从原理上基于摩擦的超声波电机到利用声悬浮的非接触式超声波电机;从高的蠕动式电机到无磨损的压电 ———电流复合型步进电机。按照工作原理 ,可将超声波电机分为接触式和非接触式两种。
(1)不需传动机构 ,位移控制精度高 ,可达 0.01 微米。
(2)响应速度快 ,约为 10 微秒 ,无机械吻合间隙 ,可实现电压随动式位移控制。
(3)有较大的力输出 ,约为 3.9KN/cm 。
(4)功耗低 ,比电磁马达式的微位移器低 1 个数量级 ,并且当物体保持一定位置(高度)时 ,器件几乎无功耗。
(5) 它是一种固体器件 ,易于电源、侧位传感器、微机等实现闭环控制。并且磁控合金和温控形状记忆合金等其他位移器件体积要小得多。
如果采用单板型) ,并通过 IDM 制成了两种类型的微型机器人(一种为三自由度 ,另一种为四自由度) 。在机器人的端部最小步进运动小于 0. 1nm ,最大速度大于 2mm/ s,并将它们成功地用在对细胞的操作中。
我国在微型机械领域 ,也不断出现新的成功 ,如压电超声马达、微型机器人、微小夹持器等 例如,上海交通大学研制的压电式微型可控镊子。
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