射频电源(RFgenerator)是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲,频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等规格,输出功率从几十瓦到几十千瓦,输出阻抗一般是50欧。它可以用于等离子体发生、感应加热、医疗等多种领域。
主要由5部分组成:直流供电电源模块,震荡电路模块,功率放大模块,射频功率检测模块,射频互锁控制模块。
(1)直流电源模块是为电源内部控制线路板供电,包括 24V、15V等电压;
(2)震荡电路模块为晶体震荡部分,产生 13.56MHZ的正弦波信号;
(3)功率放大模块是几个固态晶体管组成,主要目的是把高频信号,进行功率放大,使得输出功率达到输出要求;
(4)射频功率检测模块:主要为检测控制电路,通过高频测量电感检测入射功率,反射功率,把该信号提供给主控制板, 实现自动PID控制;
(5)射频互锁控制模块:主要为开关信号模式,可提供安全互锁功能,比如射频输出线互锁,高压互锁,射频输出互锁,过温互锁等控制功能。
其中,固态功率放大器简单点说就是把具有放大作用的电路,集成封装在一起,起到放大信号作用的模块。
射频收发核心电路射频即Radio Frequency,通常缩写为RF。表示可以辐射到空间的电磁频率,频率范围从300KHz~30GHz之间。射频简称RF射频就是射频电流,它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流,大于10000次的称为高频电流,而射频就是这样一种高频电流。有线电视系统就是采用射频传输方式。
在电子学理论中,电流流过导体,导体周围会形成磁场;交变电流通过导体,导体周围会形成交变的电磁场,称为电磁波。在电磁波频率低于100khz时,电磁波会被地表吸收,不能形成有效的传输,但电磁波频率高于100khz时,电磁波可以在空气中传播,并经大气层外缘的电离层反射,形成远距离传输能力,我们把具有远距离传输能力的高频电磁波称为射频,射频技术在无线通信领域中被广泛使用。
射频芯片指的就是将无线电信号通信转换成一定的无线电信号波形,并通过天线谐振发送出去的一个电子元器件,它包括功率放大器、低噪声放大器和天线开关。射频芯片架构包括接收通道和发射通道两大部分。
射频电源目前主要被用来在低压或常压下产生等离子体。由于不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果,如半导体设备中的去胶机;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀的需要,如半导体设备中的刻蚀机。射频电源已广泛应用于半导体工艺设备;LED与太阳能光伏产业;科学实验中的等离子体发生;射频感应加热;医疗美容;常压等离子体消毒清洗等。
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