混合集成电路是由半导体集成工艺与薄(厚)膜工艺结合而制成的集成电路。它由一个电路中所有元件的功能部分集中在一个基片上,能基本上消除电子元件中的辅助部分和各元件间的装配空隙和焊点,因而能提高电子设备的装配密度和可靠性。
将一个电路中所有元件的功能部分集中在一个基片上的特点,混合集成电路可当作分布参数网络,具有分立元件网路难以达到的电性能。混合集成电路的另一个特点,是改变导体、半导体和介质三种膜的序列、厚度、面积、形状和性质以及它们的引出位置得到具有不同性能的无源网路。
制造混合集成电路常用的成膜技术有两种:网印烧结和真空制膜。用前一种技术制造的膜称为厚膜,其厚度一般在15微米以上,用后一种技术制造的膜称为薄膜,厚度从几百到几千埃。若混合集成电路的无源网路是厚膜网路,即称为厚膜混合集成电路;若是薄膜网路,则称为薄膜混合集成电路。
为了满足微波电路小型化、集成化的要求,又有微波混合集成电路。这种电路按元件参数的集中和分布情况,又分为集中参数和分布参数微波混合集成电路。集中参数电路在结构上与一般的厚薄膜混合集成电路相同,只是在元件尺寸精度上要求较高。而分布参数电路则不同,它的无源网路不是由外观上可分辨的电子元件构成,而是全部由微带线构成。对微带线的尺寸精度要求较高,所以主要用薄膜技术制造分布参数微波混合集成电路。
混合集成电路的应用以模拟电路、微波电路为主,也用于电压较高、电流较大的专用电路中。例如便携式电台、机载电台、电子计算机和微处理器中的数据转换电路、数-模和模-数转换器等。在微波领域中的应用尤为突出。
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